编者按：省【shěng】促进会【huì】集聚了超【chāo】过500家优秀民【mín】营企业，其中包括超200家【jiā】制【zhì】造业行业龙头、隐形冠军，超100家上【shàng】市【shì】和新三【sān】板挂牌公司。近日【rì】，《南方日报》推出“育【yù】新机 开【kāi】新局：品质革命【mìng】与【yǔ】市场突【tū】围”2020佛山企业迈向高质量发展系列报【bào】道，常务理事单位华特气体作【zuò】为“佛山样本【běn】”得到了高度【dù】关注和认可，并进行了【le】专题宣传【chuán】。以下【xià】转载自《南方+》APP，报道详情【qíng】如下：
华特气体：国内唯一斩获阿斯麦认证，疫情下逆势增长
“我们一季度的经【jīng】营没有受到【dào】疫【yì】情影响，同比增长了13.85%。”广【guǎng】东华特气体股份有限公司（下称“华【huá】特气【qì】体”）总经理【lǐ】傅【fù】铸红表示。 华【huá】特气体的主【zhǔ】体业务是特种气体，其中，电子特种【zhǒng】气体被【bèi】广【guǎng】泛应【yīng】用【yòng】于【yú】半导体行【háng】业。“由【yóu】于半【bàn】导体行业是我国战略性新兴产业，基本不受疫情影响，因此我们【men】也保持了快速增长。”傅铸红解释。 能在疫情下“逆风飞翔”，根本原因还是【shì】华特气体产品的【de】高【gāo】品质。电子特种气体【tǐ】是真正意义【yì】上的高精【jīng】尖产品，在芯片制造中必不【bú】可【kě】少，想【xiǎng】要【yào】做到进口替【tì】代，必须具备国际一流品质。 过去，这一市场几乎被国际厂商垄断【duàn】。但就【jiù】是凭着十几年的【de】坚【jiān】持，华特气体硬生生地在这【zhè】一市场中撕开【kāi】了一道【dào】口子【zǐ】，实现了对国【guó】内8寸以上集成电路制造厂商【shāng】超过80%的【de】客户覆盖【gài】率。 尤其值【zhí】得一提的【de】是，华【huá】特气体通过了【le】全球最大光刻机生产商荷兰阿斯麦【mài】（ASML）公司【sī】的认证，成为中国【guó】国【guó】内唯一【yī】通过认证的气【qì】体公司。 华特气体生产车间（企业供图）
01.深耕芯片业 一季度销售逆势增长
今年一季度，尽【jìn】管【guǎn】新冠肺炎疫情来势汹汹，但华特气体【tǐ】仍【réng】然实现【xiàn】了逆势增长【zhǎng】，一季度同比增【zēng】长13.85%。傅铸红认为，这【zhè】与华特气体在【zài】特种气【qì】体产品的【de】深耕有【yǒu】关。
目前，华特气体主【zhǔ】营业务分【fèn】为三个板块，分别是【shì】普通工业气体、特种气体，以及【jí】与【yǔ】特种气体相关【guān】的【de】设备与管【guǎn】路【lù】工程。
“工业【yè】气体【tǐ】和设备两块业务还是受到了疫情影【yǐng】响，一季度【dù】，这两块业务【wù】收入同比有所下降，”傅铸红【hóng】说，“但是我们【men】的主体【tǐ】业务，也就是特种【zhǒng】气体【tǐ】业务增速【sù】较快，一降【jiàng】一升，总体仍然【rán】实现了增【zēng】长。”
2002年，华【huá】特气体确定了以特种气【qì】体【tǐ】为发【fā】展【zhǎn】方向，时至今日，华特气体的特种气体主要【yào】用于半导体芯【xīn】片行业，目前已实现对国内【nèi】8寸以【yǐ】上集成【chéng】电路【lù】制【zhì】造厂商超【chāo】过【guò】80%的客户覆盖率。
打开【kāi】华【huá】特气体的客户名【míng】单，堪【kān】称星光熠【yì】熠：不仅涵盖【gài】了中【zhōng】芯国际、华虹宏力、长江存储、台积电、京东【dōng】方等国内一线知名企业，华【huá】特还【hái】进入了英特【tè】尔、美光、德州仪器、海【hǎi】力【lì】士等全球领【lǐng】先【xiān】的半导【dǎo】体企业供【gòng】应链体系。
应用于半导体行业的气体都是真正的高精尖产品，哪【nǎ】怕0.1克甚至【zhì】更【gèng】低【dī】的【de】质量变化【huà】，都会影响产品【pǐn】性能。因【yīn】此【cǐ】，如果不具备国际一流品质，产品就【jiù】无法打开【kāi】市场【chǎng】。
与国内大部分【fèn】替代性产【chǎn】品【pǐn】主打性价【jià】比【bǐ】不同，华特气体的产品在【zài】品质上与国【guó】际竞【jìng】品【pǐn】完全一致，达到【dào】国际一流水准。例如，华特气体的【de】产品已【yǐ】能为台积电批量【liàng】供应5纳米工艺，而国内（其他【tā】企业【yè】）最先【xiān】进的【de】产品仅【jǐn】能供应14纳米工艺。
傅铸红说，经历前期严格的认证并通过后，一【yī】旦进【jìn】入【rù】供应链体系并开【kāi】始批量供应后，华特气【qì】体【tǐ】与客【kè】户的合【hé】作关系【xì】也【yě】就趋【qū】向稳定，“我们现在的竞争【zhēng】对手【shǒu】基【jī】本都是国【guó】外企业。”
华特气体已成为中国国内唯一通过认证的气体公司（资料图片）
02.奋斗19年获阿斯麦认证 全球仅有四家企业“入围”
目前，华【huá】特【tè】气体已经【jīng】有近20种气体实现了进口替代，其中【zhōng】光刻混【hún】合气产【chǎn】品于【yú】2017年通过全【quán】球最大的光刻机供应【yīng】商阿斯麦【mài】的产品认证【zhèng】。
光刻是芯片【piàn】制造最关键的【de】工艺之一，光【guāng】刻需要由光刻机来完成，而全球最【zuì】顶级的光刻机公司【sī】就是荷【hé】兰的阿【ā】斯【sī】麦。
“光刻机里【lǐ】有一个激光腔，激光腔体内要通【tōng】入稀【xī】有【yǒu】的【de】混合气体，利用稀有气【qì】体电离激发出一【yī】种特定波长【zhǎng】和【hé】能【néng】量【liàng】的激光。”傅铸红说，“光刻机再使用激光，去除芯片【piàn】表面的光刻胶【jiāo】涂层【céng】，在芯片【piàn】表面形成线宽为纳米级的特定的电【diàn】路【lù】图案。”
因此，这个工序是决定芯片工艺精度的最重要的工序。
光【guāng】刻混合气是非常复【fù】杂且高精【jīng】度的【de】产品，一般一种光刻气中会含有9-22种组分【fèn】气体。“用激光来加工芯片表面，需要让激光波长【zhǎng】和【hé】能【néng】量长时间保持稳定，如果【guǒ】气体纯度不【bú】够或配比不精准【zhǔn】，就会导致激【jī】光能量时高时低【dī】或不持【chí】续。”他解释，“这【zhè】必【bì】然影【yǐng】响光刻效【xiào】果。”
2017年，华特【tè】气体【tǐ】的光刻混合气通【tōng】过【guò】阿斯麦认证，在这【zhè】个认证名单中，全球仅有四家企业，华【huá】特气体【tǐ】是中国唯一一【yī】家。
这个认证【zhèng】对【duì】华特【tè】气体意义巨大【dà】。“进入【rù】阿斯麦【mài】的认证，意【yì】味着阿斯【sī】麦强【qiáng】烈建议它的光刻机用户，在【zài】使用阿斯【sī】麦【mài】光刻机时，要配套使【shǐ】用这四家企业的光刻气【qì】。否则，若用户发现光刻效果不好，阿【ā】斯麦【mài】不承担责任。”傅【fù】铸红【hóng】介绍。
从研发光刻混合气，到获得全球顶级光刻机【jī】企【qǐ】业的【de】认【rèn】证【zhèng】，华特气体用了19年。
“我们从【cóng】1998年就开始【shǐ】研【yán】发这款气【qì】体，过程【chéng】非常艰【jiān】难。”傅铸红回忆光刻混【hún】合气的研发历程说。特【tè】别【bié】是【shì】有些组分气体含量非【fēi】常少【shǎo】，只有几克甚至【zhì】零点几克【kè】，要将它们精准【zhǔn】的混【hún】合在一起【qǐ】，还要保证气体在运输【shū】和储存过程中没有【yǒu】任何变【biàn】化，这对气体企业的技【jì】术要【yào】求非常高。
当【dāng】年，在几乎没有任何专利文献可以参考【kǎo】的情况下【xià】，华特气体的研发团队就是【shì】凭着【zhe】毅力，不停试错和摸【mō】索，在【zài】积累了【le】几千组实【shí】验【yàn】数【shù】据后，最终研制成功【gōng】。
但【dàn】很快华特气【qì】体又【yòu】迎来第二个挑战【zhàn】：如何让阿斯麦相【xiàng】信【xìn】华特气体？
作【zuò】为一【yī】家民营【yíng】气体企业，华特气体在国际竞争对手面前，体量并【bìng】不【bú】大【dà】。2019年，华【huá】特气体营业收入为8.44亿元人民币。而法液空、林德等国【guó】际【jì】巨头气体企【qǐ】业，营收【shōu】都在千亿人民币以上【shàng】。
傅铸红【hóng】回忆【yì】，正因如此，阿斯麦在【zài】最初的接【jiē】洽中甚至不愿意【yì】测试华特【tè】气体生产的光刻混合气【qì】，“但【dàn】我们不断地和他们沟通，通过展示生【shēng】产过程、品控手【shǒu】段、精准检测的技术等【děng】，前后用了近【jìn】一年【nián】的时【shí】间，让阿斯麦【mài】相信【xìn】了我们的专业能【néng】力【lì】，最【zuì】终测试并通过【guò】了认证。”
03.抓住危机下的机遇 未来将开展海外并购
近几年，华特气体保持着每年研发【fā】推出9-22种新气体的节奏【zòu】。现在在研【yán】气体项【xiàng】目13种，其中8寸片气体10种、12寸片气体3种，主要涉及光刻【kè】、蚀刻、清洗、沉积等【děng】环【huán】节，基本【běn】都用于【yú】进口替代。其中，某氢化物合成【chéng】研发项【xiàng】目是为【wéi】了填补全球技术空白。
凭借过硬的产品，华【huá】特【tè】气体的【de】特【tè】种气【qì】体已进入了英特尔、美光科技【jì】、德州【zhōu】仪器、海力士等全球领先的半【bàn】导体企业供应链【liàn】体系，成为一【yī】把不容忽【hū】视的中国力量。
但是，对标法液空【kōng】、林德等国际【jì】巨头，华特【tè】气体要成【chéng】为推动中国半导体行业高端化发展【zhǎn】的“尖刀部队【duì】”，还有较长【zhǎng】的路要走。这【zhè】主要体现【xiàn】在【zài】产【chǎn】业链纵深程度和产品线的广【guǎng】度上【shàng】。
傅铸【zhù】红表【biǎo】示，一方面，特种气体对上游原材料品质要求较高，纵向一【yī】体【tǐ】化发展有利【lì】于【yú】华特气体加强对上游的把控【kòng】。另一方面，是特【tè】种【zhǒng】气体品种繁多，通过横向【xiàng】并购成【chéng】熟【shú】的、优秀的细【xì】分产品【pǐn】领域企业，能【néng】够快速补【bǔ】充华特气体的产品线【xiàn】，将公【gōng】司做大做强。
2019年，华特气体成功登陆科【kē】创板【bǎn】，这给华特气体【tǐ】开【kāi】展横【héng】纵【zòng】向拓展带来了资本利【lì】好。
特别是本次疫情引【yǐn】发【fā】了经济周期的【de】下行，也给华【huá】特的扩张带来了【le】不【bú】小的机会，傅铸【zhù】红表【biǎo】示：“我们会认【rèn】真研究那些能给华【huá】特带来较强协同效应、对【duì】主业【yè】有所帮助的标的，适时开展【zhǎn】并购或【huò】投资。”
“未来，我们计划还【hái】要开展海【hǎi】外的兼并和【hé】收【shōu】购，”他展望【wàng】，“目【mù】前，我们的气体已出口【kǒu】海外50多个国家和地区，销售占比20%左右，但这些都【dōu】是通【tōng】过当地的【de】气体【tǐ】公司进行分销。我们希望通【tōng】过海外兼并和收【shōu】购【gòu】，以直接设【shè】点的方式【shì】去【qù】服务我【wǒ】们的【de】海外终端用户。”
记者手记：用全球视野抢占行业制高点
在当前特殊的【de】发展情况下，佛【fó】山企业【yè】应该【gāi】如何审视国际市场的【de】危与【yǔ】机？
正如北京大学国家发展研究院【yuàn】教授【shòu】周【zhōu】其【qí】仁所鼓【gǔ】励的【de】，佛【fó】山的民营企业一定要在全球化的视角下，抢占行【háng】业【yè】制高点。
自2002年确立以特【tè】种气体为发展【zhǎn】方向【xiàng】以【yǐ】来，华特气【qì】体的成长路【lù】径恰恰暗合【hé】了这一观点。
特种【zhǒng】气体【tǐ】品质对电子【zǐ】产品生产【chǎn】影响较【jiào】大，一旦气体质【zhì】量出现【xiàn】问题，下游客【kè】户将会产生较大损失。为保持气【qì】体供应稳定，客户在与气体供应商建立合作关系【xì】后不【bú】会【huì】轻【qīng】易更【gèng】换气体供应商。
特种气【qì】体，尤其是【shì】应用于半导体行业的【de】电子特种气体的国产【chǎn】化，没有国际【jì】一流【liú】的品质【zhì】，就【jiù】进入不了【le】半导【dǎo】体行业的供应链。
作为“后起【qǐ】之秀”，华特气体【tǐ】之所以能【néng】够在这一巨头垄断【duàn】的高端细分【fèn】市场中撕开一道【dào】口子，就是因为十【shí】多年来，华特一直【zhí】瞄准国际【jì】一流产【chǎn】品，坚持研发【fā】高【gāo】端特种气体，继而实现【xiàn】进【jìn】口替【tì】代。
未来华特气体还会【huì】继续以【yǐ】特【tè】种气【qì】体为发展方向，瞄准大尺【chǐ】寸、小线宽这些半【bàn】导体先进制程，不【bú】断的研制并推出一【yī】批技【jì】术难度高、市场容量大的产品。这在家企业看来，这【zhè】也是【shì】华特作为半导【dǎo】体产【chǎn】业链企业应【yīng】承担【dān】起【qǐ】的【de】责任。期待更多佛山民【mín】营企业能【néng】走出“华特式”的发【fā】展之路。
